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紅外顯微鏡
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紅外顯微鏡
紅外顯微鏡

產品型號:MX系列
發布時間:2018-6-11 8:48:45
訪問次數:2076 次

紅外顯微鏡-紅外顯微鏡介紹

BX51-IR型近紅外顯微鏡

MX63L-IR型近紅外顯微鏡(12”晶圓檢查專用顯微鏡)

紅外物鏡

LMPLN5XIRLMPLN10XIRLCPLN20XIRLCPLN50XIRLCPLN100XIR注意



倍數數值孔徑工作距離(mm)硅片厚度分辨率(μm)
5X0.123——5.50
10X0.318——1.83
20X0.458.30-1.21.22
50X0.654.50-1.20.85
100X0.851.20-10.65


注:分辨率在1100nm波長下計算


新舊紅外物鏡性能對比


LMPL20XIR(舊型號)LCPLN20XIR(新型號)LMPL50XIR(舊型號)
LCPLN50XIR(新型號)LMPL100XIR(舊型號)LCPLN100XIR(新型號)


紅外顯微鏡的應用

– Vcsel芯片隱裂(cracks)、InGaAs瑕疵紅外無損檢測

– 法拉第激光隔離器,Faraday Isolator近紅外無損檢測

– die chip 失效分析

– 紅外透射Wafer正反面定位標記重合誤差無損測量

– 硅基半導體Wafer、碲化鎘CdTe、碲鎘汞HgCdTe襯底無損紅外檢測

– 太陽能電池組件綜合缺陷紅外檢測

Vcsel芯片隱裂(cracks)

法拉第激光隔離器膠合偏振片無損檢驗

die chip 失效分析

紅外Wafer正反面定位標記重合誤差無損測量

硅基半導體Wafer、碲化鎘CdTe、碲鎘汞HgCdTe襯底 缺陷無損紅外檢測

太陽能電池組件綜合缺陷紅外檢測

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